解決策
半導体
純度。
材料の段階から考える。
耐薬品性。
実際の使用条件で確かめる。
精密さ。
一つひとつの仕様に落とし込む。
半導体製造プロセスでの用途
精密さを求めるほど、
材料選びは重要になる。
ウエハー製造や半導体製造装置の部品に向けて。接触する薬液、汚染管理の目標、実際の使用条件を整理し、フッ素樹脂の適合性を評価します。
01 ／ ウェットプロセス
薬液ごとに、
適切な材料を考える。
ウェットエッチングなど、プロセス薬液に接触する装置部品へのフッ素樹脂の適用を検討します。薬液の種類や濃度に加え、温度、接触時間を含めて耐薬品性を評価することが重要です。
評価のポイント：耐薬品性と使用条件
02 ／ 薬液搬送
流れのすみずみまで、
清浄性を見つめる。
抽出物、溶出物、パーティクルの管理が求められる薬液搬送系では、高純度材料を選定候補として評価します。接液部品の実際の使用条件に照らし、適切なグレードを確認してください。
評価のポイント：接液材料と清浄性の要求
03 ／ ウエハーハンドリング
一つひとつの接触にも、
材料選定の視点を。
汚染に敏感なウエハー搬送環境で、関連する治具へのフッ素樹脂の適用可能性を検討します。接触方法、部品形状、要求仕様に基づき、適合性を検証してください。
評価のポイント：接触条件と部品の検証
注目の材料 ／ 高純度PFA
純度へのこだわりは、
材料の選択から。
Everflon™の高純度PFAは、半導体製造における薬液搬送系の材料選定候補です。まずGC403の製品情報を確認し、プロセス条件、接液部品の要求仕様、受入基準と照らし合わせて、適合性をご検討ください。
適合性は、選定したグレード、部品設計、成形・加工条件、用途に応じた試験結果によって確認する必要があります。「高純度」という名称だけで、個別プロセスへの適合性を判断することはできません。
プロセスの要求から、材料評価へ
条件を明確に。
選定を、より確かに。
プロセス技術、装置設計、調達の各部門で要求事項を共有し、材料選定と技術検討を具体的に進めます。
01 ／ 使用条件の整理
実際のプロセスを明確にする。
薬液の種類、濃度、温度、圧力、接触時間をご提示ください。あわせて、洗浄サイクル、部品寸法、想定する成形・加工方法を整理します。
02 ／ 受入基準の確認
要求事項に共通の基準を。
清浄性の要求、汚染物質の許容限度、試験方法、必要書類を明確にします。そのうえで、対象グレードの技術データや提供可能な成形・加工情報を確認してください。
03 ／ 成形・加工後の部品評価
使用条件に即して検証する。
実際の使用環境を代表する条件で試験を計画します。成形・加工後の部品の評価結果を確認し、社内の手順に従って材料の採用判断と量産への導入を進めてください。
半導体向け材料選定のよくあるご質問
選ぶ前に、確認したいこと。
半導体向けフッ素樹脂の相談には、どのような情報が必要ですか？
対象プロセス、部品の用途、接触する薬液、使用温度・圧力、成形・加工方法、受入基準をご提示ください。部品図面や既存の材料仕様書があれば、評価条件をより具体的に整理できます。
高純度PFAは、すべての半導体製造プロセスに使用できますか？
「高純度」という名称だけでは判断できません。個別グレードの技術データと試験条件を、対象プロセスの要求事項と比較してください。そのうえで、成形・加工後の部品を実際の使用環境に即して検証する必要があります。
薬液搬送用の材料を評価する際、最初に何を確認すべきですか？
まず、薬液の種類、濃度、温度、圧力、接触時間を確認します。次に、抽出物、溶出物、パーティクルなどの管理要求を明確にしてください。部品設計や成形・加工条件も評価に含めることが重要です。
Everflon™の高純度PFAについて、どこで確認できますか？
まずは、Everflon™ PFA GC403の製品情報をご覧ください。その後、プロセス条件や材料仕様をご共有いただくことで、次の評価ステップについて具体的にご相談いただけます。
次の一歩は、プロセスの共有から
プロセスから、材料を考える。
使用条件、部品に求める仕様、評価・承認基準をお聞かせください。半導体製造向けフッ素樹脂の選定に向けて、確認すべき項目を一緒に整理します。
なし
通信