半導体プロセス専用超高純度フッ素樹脂

Everflon™ PFA GC403

最先端サブナノメーター世代のプロセスに最適化。極限の化学的不活性とPPTレベルの極低金属溶出を実現。

PPT（兆分率）レベルを極めた純度。

最新鋭ファブにおける最も厳格な汚染防止基準を大幅にクリアするよう設計されています。

< 0.1 ppb

総金属溶出量

極限まで精密制御された重合技術により、フッ酸（HF）、硫酸過水（SPM）、SC-1/SC-2等の腐食性薬液への金属イオン溶出を遮断。

260°C

連続使用耐熱温度

過酷な高温薬液循環や熱サイクル下においても、優れた機械的引張強度、寸法安定性、気密保持性能を維持します。

> 500,000回

MIT耐屈曲疲労寿命

耐環境応力割れ性（ESC）に極めて優れ、高頻度な脈動圧を受けるベローズポンプやダイヤフラムバルブに高い耐久性を提供します。

サブナノメーターコンタミネーション制御

超高純度エンジニアリング

イオン溶出、有機溶出物（TOC）、微小パーティクル付着を徹底排除。

< 10 ppt

重要金属の極微量溶出制御

主要金属イオン（Fe, Cu, Ni, Cr, Zn, Ca）を極限まで低減。最先端露光・エッチング工程におけるウエハ歩留まりを保護します。

極低TOC

全有機炭素（TOC）の極小化

分子末端の完全フッ素化処理により、超純水（UPW）や高純度溶剤への有機溶出物や化学アウトガスを抑制。

Ra < 0.1 μm

鏡面レベルの超平滑表面

非多孔質で滑らかな内壁面が微粒子の滞留や液溜まりを防ぎ、装置導入時のフラッシングおよびライン立ち上げ時間を大幅に短縮。

100%

完全フッ素化末端基安定性

不安定なポリマー末端基を不活性な $-CF_3$ 基へ完全転換。成形加工時のボイド発生、変色、臭気を防止します。

高精度ミッションクリティカル用途

半導体プロセス向け主要用途

要求仕様の厳しいクリーン環境と最先端ファブに実績のある信頼性。

超高純度薬液配管・チューブ

集中薬液供給システム（CCDS）向けに超平滑チューブを押出成形。高濃度フッ酸、硝酸、高純度溶剤配管に最適。

バルブ・継手・ポンプ用ダイヤフラム

フレア継手、バルブブロック、耐久性・屈曲疲労寿命が求められるベローズ・ダイヤフラム部品を精密射出・トランスファー成形。

ウエハキャリア・ウェット洗浄槽

ウエハカセットおよび浸漬洗浄槽に採用され、厳しい寸法公差と過酷なSPM/SC-1洗浄時のコンタミネーション防止を両立。

センサー・薬品タンクライニング

高精度流量計、圧力センサーの保護部材、高純度薬液貯蔵タンクの腐食防止・絶縁ライニングに高い性能を発揮。

国際半導体規格（SEMI規格）への完全準拠

Everflon™ PFA GC403は、液体系薬液供給システム規格（SEMI F57等）の仕様に準拠しており、最先端半導体ファブへのスムーズな導入と認定を支援します。

技術仕様データシート

Everflon™ PFA GC403 半導体グレードフッ素樹脂ペレットの代表物性値。

特性パラメータ	試験規格	単位	代表公称値
メルトフローレート (372°C / 5.0 kg)	JIS K 7210 / ASTM D1238	g/10 min	1.8 – 2.5
比重	JIS K 7112 / ASTM D792	—	2.15
引張強度 (23°C)	JIS K 7161 / ASTM D638	MPa	≥ 32
破断伸び	JIS K 7161 / ASTM D638	%	≥ 350
融点 (DSCピーク)	JIS K 7121 / ASTM D3418	°C	305 – 310
誘電率 (1 MHz)	JIS K 6911 / ASTM D150	—	2.1

製造・成形・ロジスティクス管理

梱包・保管・成形加工ガイドライン

クラス100クリーンルームでの厳格な包装と、最適化された溶融成形パラメータ。

クリーンルーム二重包装

帯電防止加工が施されたクリーンルーム専用ポリエチレン二重袋（正味25 kg）に密封後、剛性ドラム缶へ封入。湿気や空気中微粒子の混入を防止。

成形加工温度管理

推奨溶融加工温度域は350°C〜390°Cです。樹脂の熱分解を防ぐため、樹脂温度は400°Cを超えないよう厳格に管理してください。

耐食性合金シリンダー・金型

溶融樹脂に接触するスクリュー、バレル、ダイス、ノズル等の部品には、高ニッケル耐食合金（ハステロイ® C-276、インコネル® 625等）をご使用ください。

押出成形機推奨温度プロファイル

後部（フィード部）: 330°C – 350°C | 中部（圧縮部）: 350°C – 370°C | 前部（計量部）: 365°C – 385°C | ダイヘッド・アダプター: 375°C – 390°C