半導体プロセス向け高流動・高生産性フッ素樹脂

Everflon™ PFA GC410

公称 MFR 8 のバランスの取れた流動性により、押出成形の高速化と優れたドローダウン性を実現。妥協のないサブナノメーター純度を両立。

高効率な流動特性とクリーンルーム純度の融合。

薬液配管チューブの高速押出成形や、精密多数個取り射出成形に最適な設計。

8.0 g/10 min

中粘度・最適溶融流動性

高いドローダウン比に対応し、薄肉成形時の射出圧力を低減させながら、チューブ押出ラインの生産速度を大幅に向上。

260°C

優れた耐熱性・化学的安定性

オゾン水や高温の強酸性エッチング液に連続接触する環境でも、靭性、弾性率、耐食性を長期にわたり維持。

50,000回

MIT耐屈曲疲労寿命

高度な耐環境応力割れ性（ESCR）を備え、圧力脈動の加わる高純度流体バルブや配管システムの長寿命化に貢献。

先進ポリマー構造エンジニアリング

超高純度規格とオゾン耐性

化学修飾された完全フッ素化末端基により、オゾンおよび強力な薬液に対する不活性を徹底追求。

O₃不活性

オゾン流体耐性

特殊化学変性により、高濃度オゾン脱イオン水や SC-1 洗浄液の移送時における表面酸化や応力割れを防止。

< 10 ppt

極低微量金属溶出

主要金属イオン（Fe, Cu, Ni, Cr, Zn, Ca）の溶出を徹底抑制。2nm以下の最先端世代ウエハ歩留まりを確実に保護。

無添加

極低フッ素イオン＆TOC

添加剤フリー処方により優れた光学的透明性を確保。抽出性フッ化物や超純水への全有機炭素（TOC）溶出を抑制。

100% 安定

完全フッ素化末端基

分子末端の完全フッ素化により熱分解ガスを抑制し、微小ボイドの発生を防ぎ、成形時の高い溶融張力を維持。

高効率加工と適応範囲

半導体・高純度流体システム主要用途

成形サイクル短縮、均一な溶着性、万全の耐食性を提供します。

高速チューブ・二重管押出成形

高い溶融強度により、大口径ダイ開度と高ドローダウン成形が可能となり、高純度薬液チューブや二重保護配管の生産ライン速度を向上。

精密多数個取り射出成形部品

公称 MFR 8 の流動性により、薄肉フレア継手、複雑なバルブボディ、ユニオンナット、多ポートマニホールドの確実なキャビティ充填を実現。

自立型配管・容器ライニング

バルク高純度薬品工場向けの大型配管内面ライナー、薬液貯槽、蒸留塔のトランスファー成形および回転成形に最適。

高精度流体計測機器

超音波流量計、圧力トランスミッター、分析サンプリングプローブなどの接液部に非粘着性と安定した誘電特性を提供。

SEMI F57 & FDA 規格準拠[cite: 1]

Everflon™ PFA GC410 は、超高純度薬液供給配管規格（SEMI F57）に準拠し、FDA 21 CFR 177.1550 および欧州規則 (EU) No. 10/2011 に適合しています[cite: 1]。

技術仕様データシート

Everflon™ PFA GC410 高生産性・半導体グレードフッ素樹脂ペレットの代表物性値。

特性パラメータ	試験規格	単位	代表公称値
メルトフローレート (372°C / 5.0 kg)	JIS K 7210 / ASTM D3307	g/10 min	8.0 (6.0 – 12.0)
比重	JIS K 7112 / ASTM D792	—	2.15
引張強度 (23°C)	JIS K 7161 / ASTM D3307	MPa	26
引張強度 (250°C)	JIS K 7161 / ASTM D3307	MPa	10
破断伸び (23°C)	JIS K 7161 / ASTM D3307	%	320
融点 (DSCピーク)	JIS K 7121 / ASTM D4591	°C	305
MIT耐屈曲疲労寿命	ASTM D2176	回	50,000
誘電率 (1 MHz)	JIS K 6911 / ASTM D150	—	2.03

製造・成形・ロジスティクス管理

梱包・保管・成形加工ガイドライン

ISO クラス 5 クリーンルーム包装と、高効率溶融加工パラメータの最適化。

クリーンルーム二重包装

帯電防止多層クリーンポリエチレン袋（正味25 kg）に密閉封入後、剛性ドラム缶に収容。吸湿や空気中微粒子の混入を防止 ]。

成形加工温度管理

推奨溶融加工温度域は 350°C〜390°C です。熱分解を防ぐため、樹脂温度は 400°C を超えないよう厳格に管理してください。

耐食性合金シリンダー・金型

溶融樹脂に接触するスクリュー、バレル、ダイス、ノズル等の部品には、高ニッケル耐食合金（ハステロイ® C-276 またはインコネル® 625 等）を使用してください。

押出成形機推奨温度プロファイル

後部（フィード部）: 330°C – 350°C | 中部（圧縮部）: 350°C – 370°C | 前部（計量部）: 365°C – 385°C | ダイヘッド・アダプター: 375°C – 390°C